日本KOFLOC 5100系列質(zhì)量流量控制器-內(nèi)拋光
金屬密封，泄漏率1*10-11pa·m3/s以下
內(nèi)部拋光Ra≤0.1，杜絕二次污染介質(zhì)
±15VDC供電性能穩(wěn)定，0-5V模擬信號更加通用
適用于高真空、半導(dǎo)體以及對管路潔凈度高要求場合
5100質(zhì)量流量控制器
量程(N2)
1SCCM-20SLPM
精度
±1.0%FS
重復(fù)性
±0.2%FS
響應(yīng)時間
1秒以內(nèi)
耐壓
1.0Mpa
進(jìn)口最大壓力
O.3Mpa
動作壓差
0.05-0.3Mpa
泄漏率
1*10-11pa·m3/s以下
內(nèi)拋光
Ra≤0.1
溫度范圍
5-45℃
濕度范圍
10-90%RH(不能結(jié)露)
材質(zhì)
本體SUS316L
密封圈SUS316L、PTFE
電氣接口
DB9
模擬信號
0-5V輸入/輸出
供電
+15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)100mA；
管路連接
標(biāo)配1/4UJR
選配1/8UJR
重量
約1000g
針腳/顏色
定義
1針腳/棕色
閥門全開/全閉
2針腳/白色
0-5V輸出
3針腳/紅色
+15VDC
4針腳/黑色
電源COM
5針腳/黃色
-15VDC
6針腳/灰色
0-5V輸入
7針腳/綠色
輸出COM
8針腳/蘭色
輸入COM
9針腳/紫色
閥門電源輸出
一：進(jìn)氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進(jìn)水)、雜質(zhì)粉塵不超過20微米》。
二：用肥皂水對管路進(jìn)行泄漏檢測時，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。
三：安裝前，請將設(shè)備管路進(jìn)行整體吹掃。
四：耐壓1.0Mpa，進(jìn)口最大壓力3公斤。
五：需要進(jìn)行零點漂移清零的時候，確認(rèn)進(jìn)/出口沒流量沒壓力下 再操作。