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量程(N2)

0-10、30、50、100、300、500SCCM

0-1、3、5、10SLM(可定制0-5SCCM)

滿量程可切換30~100%，如100SCCM可切換0-30SCCM

氣體

非腐蝕氣體

精度

±1.0%SP(>30%FS);0.3%FS(≤30%FS)

重復性

±0.25%FS

有效范圍

2-100%

響應時間

1秒以內

耐壓

1.0Mpa

進口最大壓力

0.5Mpa

工作壓差

0.05-0.3Mpa

泄漏率(HE)

1*10-8pa·m3/s以下
1*10-9pa·m3/s以下(VCR接口)

溫度范圍

5~50℃

精度保證溫度

15~35℃

保存溫度

-10~60℃

濕度范圍

10-90%RH(不能結露)

材質

本體SUS316、SUS316L

密封圈VITON、NBR、PTFE

電氣接口

DB9

通訊信號

RS485(Modbus-RTU)，RJ45接口

設定信號

0-5V或4-20mA可選

輸出信號

0-5V或4-20mA可選

供電電壓

+24VDC或±15VDC可選

消耗電路

300mA

尺寸

76*30*80MM

管路連接

標配1/4F9

選配1/8F9、1/4UJR、RC1/4

重量

約500g

1針腳/棕色

閥門全開/全閉

2針腳/白色

模擬輸出

3針腳/紅色

+24VDC

4針腳/黑色

電源COM

5針腳/黃色

空

6針腳/灰色

模擬輸入

7針腳/綠色

輸出COM

8針腳/蘭色

輸入COM

9針腳/紫色

空

1針腳

485COM

2針腳

485COM

3針腳

空

4針腳

485-

5針腳

485+

6針腳

空

7針腳

空

8針腳

空