美國ALICAT LKF5系列質量流量控制器-耐腐蝕
Alicat的LKF5系列數字式質量流量控制器可精確、快速控制
腐蝕性氣體(如：NH3、H2S、CL2、SO2、SiH4等)的質量
流量、體積流量、壓力和溫度。LKF5系列質量流量控制器
通過定制化的高速比例控制閥還可精確控制腐蝕性過程
氣體的質量流量、體積流量和壓力。
更適用于液體氣化后的流量控制。
如：氨水、硅油氣化后，限度允許氣體濕度195%。
性能/參數
LKF5系列質量流量控制器
流量范圍
0.5SCCM-5000SLPM
可自行修改流量單位如kg/h、g/min等
標定氣體
內置130條氣體可選擇，含腐蝕氣體
精度(調零后)
±(0.8%Rd+0.2%FS)
高精度(調零后)
±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM
重復性
±0.2%FS
漂移(零點/滿量程)
0.02% F.S/oC/Atm
工作范圍
0.5-100%
響應時間
100毫秒(調整)
啟動預熱時間
1秒內
標準工況
25oC & 14.696 psia，可自定義修改
工作溫度范圍
-10~-50℃(另有高溫訂制品)
工作濕度范圍
0-95%RH(非冷凝)
工作壓力
不超過10Bar
安裝方向
任意
閥門狀態
常閉
材質
SUS316L不銹鋼(傳感器)、密封圈FFKM(Kalrez)
顯示屏
背光LCD顯示屏，同時顯示流量、壓力、溫度
數字信號
標準RS232
選配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet
以太網RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP)
模擬信號
標準0-5V/1-5V/0-10V
選配:4-20mA
第二路模擬信號
電氣接口
標準圓形8芯
選配:圓形6芯、DB9、DB15
供電電壓
+24VDC
消耗電流
20SLPM以內：250mA
50SLPM以內：750mA
針腳/顏色
定義
1針(黑色)
4-20MA輸出信號，如選擇0-5V/10V 連接6針
2針(棕色)
不用連接,如選第二路 輸出信號可接
3針(紅色)
RS232 輸入串口RS232 輸入串口
4針(橘色)
模擬設定信號(訂貨時確認信號類型)
5針(黃色)
RS232 輸出串口
6針(綠色)
0-5V或0-10V輸出信號
7針(藍色)
+24VDC供電
8針(紫色)
接地(同時作用于電源、通訊、模擬)
備注：以上是標配圓新8芯接線注解，其他接口來電咨詢
流量
壓損(PSID),排放大氣中
接口
0.5-50SCCM
1.0
1/8NPT母螺紋
100-500SCCM
1SLPM
1.5
2SLPM
3.0
5SLPM
2.0
10SLPM
5.5
20SLPM
20.0
50SLPM
1/4NPT母螺紋
100SLPM
3.2
250SLPM
2.4
1/2NPT母螺紋
500SLPM
6.5
3/4NPT母螺紋
1000SLPM
14.0
1500SLPM
17.0
2000SLPM
28.6
3000SLPM
16.8
1-1/4NPT母螺紋
5000SLPM
14.1
1-1/2NPT母螺紋
一：進氣管道上建議安裝上的過濾器(20-30目)使用。
二：用肥皂水對管路進行泄漏檢測時，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。
三：在使用質量流量控制器的時候，進口前方加“ON/OFF電磁閥或手動切斷閥”。
四：安裝前，請將設備管路進行整體吹掃。
五：通氣體時，請先開氣源，后設定值。
六：切勿在沒有通氣的情況下，對流量控制器進行設定。
七：使用完以后，請將流量控制器值歸零或斷電。
八：需要進行零點漂移清零的時候，確認進/出口沒流量沒壓力下、設定值是0的狀態 再操作。