美國ALICAT LKO2系列質量流量控制器-OEM
美國ALICAT-LKO2系列質量流量控制器為用戶提供
可重復、可靠、經濟的氣體流量控制方案。專為OEM
設備集成而設計的BASIS輕便靈巧、內置高精度MEMS
傳感器，適合各類小型設備配套使用
LKO2質量流量控制器應用范圍相當廣，輕便靈巧、
多氣體標定、模擬及數字雙重通訊將為您的項目
設計提供更大的靈活性。
性能/參數
LKO2系列質量流量控制器-OEM
流量范圍
0-100/1000SCCM、8/20/50SLPM
標定氣體
內置7條氣體可選擇
精度(調零后)
±(1.5%Rd+0.5%FS)
重復性
±0.5%Rd
漂移(零點/滿量程)
0.02% F.S/oC/Atm
工作范圍
1-100%
響應時間
100毫秒(調整)
啟動預熱時間
1秒內
標準工況
25oC & 14.696 psia
工作溫度范圍
0~-50℃(另有高溫訂制品)
工作濕度范圍
0-90%RH(非冷凝)
耐壓
10Bar
進口工作壓力
4Bar內
安裝方向
任意
閥門狀態
常閉
材質
SUS不銹鋼、密封圈VITON
數字信號
RS485(ACSII、MODBUS-RTU)
模擬信號
標準0-5V 選配:4-20mA
電氣接口
標準DB9
供電電壓
+24VDC，200mA
針腳/顏色
定義
1針
空
2針
3針
RS485-
4針
模擬信號輸入
5針
RS485+
6針
模擬信號輸出
7針
電源+24VDC
8針
電源地
9針
模擬信號和通訊COM端
流量
壓損(PSID),排放大氣中
接口
100SCCM
10mbar
1/8NPT母
8/20SLPM
350mbar
3/8NPT母
50SLPM
500mbar
一：進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干凈《不能進水/油、雜質粉塵不超過20微米》。
二：用肥皂水對管路進行泄漏檢測時，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。
三：在使用質量流量控制器的時候，進口前方加“ON/OFF電磁閥或手動切斷閥”。
四：安裝前，請將設備管路進行整體吹掃。
五：通氣體時，請先開氣源，后設定值。
六：切勿在沒有通氣的情況下，對流量控制器進行設定。
七：使用完以后，請將流量控制器值歸零或斷電。